Терминологический словарь содержит следующие разделы: основные понятия, основные физические, химические и биологические явления и понятия в нанотехнологиях, объекты нанотехнологии, основные процессы и методы в нанотехнологиях, методы и средства исследования нанообъектов, метрология, стандартизация и сертификация, информатика, электроника, квантовые компьютеры.
Имеются указатели терминов на русском и английском языках, приведен список международных, региональных и зарубежных национальных организаций в области стандартизации и сертификации, список распространенных англоязычных сокращений.
Словарь предназначен для научных работников, инженеров, аспирантов, студентов, специализирующихся в различных областях нанотехнологии, их метрологического обеспечения и стандартизации.